패시브 제진 유닛
| 형식 | PST-304 | PST-305 | PST-306 | PST-308 | |
| 제진 방식 | 심벌즈 피스톤형 공기 스프링 | ||||
| 고유 진동수 | 수직 방향 | 2.0 ~ 2.5 Hz | 1.5 ~ 2.0 Hz | ||
| 수평 방향 | 1.5 ~ 1.8 Hz | 1.5 ~ 1.8 Hz | |||
| 레벨링 방식 | 자동 레벨링 | ||||
| 탑재 질량(4기) (kg) | ~ 400 | ~ 700 | ~ 1250 | ~ 3000 | |
| 공급 압력 (MPa) | 0.4 ~ 0.6 | ||||
| 외형치수(mm) | A | 170 × 170 | 170 × 170 | 200 × 200 | 250 × 250 |
| 설치 치수 (mm) | B | 150 × 150 | 150 × 150 | 180 × 180 | 230 × 230 |
| 작동 높이 (mm) | C | 185 | 185 | 185 | 185 |
| 최소 높이 (mm) | D | 180 | 180 | 180 | 180 |
| 장착 구멍 직경 (mm) | E | 10 | 10 | 10 | 13 |
| 상부 플레이트 두께 (mm) | T | 10 | 10 | 10 | 10 |
| 하부 플레이트 두께 (mm) | F | 6 | 6 | 6 | 6 |
| 제품 질량 (kg) | 7 | 7 | 12 | 17 | |
· 전자 현미경
・정밀 측정 장치
・반도체 제조장치/검사장치
・FPD 제조장치/검사장치
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