アクティブ除振ユニット
| 品 番 | EST-L6HKP-200L | EST-L6HKP-200M | EST-L6HKP-200H | EST-L8HKP-200 | |
| アクチュエータ | リニアモーター | ||||
| 制御方法 | FB・FF 6自由度制御、MFF（モーションフィードフォワード） | ||||
| レベリング方式 | 自動レベリング | ||||
| コントローラ ※1 | デジタルコントローラ | ||||
| 搭載質量(kg) | 340 ～ 570 | 460 ～ 670 | 570 ～ 750 | 640 ～ 1250 | |
| W×D | 除振ユニット外形寸法(mm) | 315 × 315 | 350 × 350 | ||
| A×B | 除振ユニット取付寸法(mm) | 295 × 295 | 325 × 325 | ||
| H | 着座時高さ(mm) | 217 | |||
| 作動時高さ(mm) | 220 | ||||
| T1 | 上部プレート厚さ(mm) | 15 | 16 | ||
| T2 | 下部プレート厚さ(mm) | 9 | 9 | ||
| 製品質量(kg) | 70 | 90 | |||
※１：コントローラボックスは別置きです。
※２：空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。除振ユニット１基あたりです。
・半導体製造装置/検査装置
・FPD製造装置/検査装置
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