패시브 제진 유닛 PSB-D (댐퍼 내장) | 쿠라시키 화공 주식회사 산기 제품 사이트

제진 유닛 패시브

패시브 제진 유닛 PSB-D(댐퍼 내장)

・우수한 제진 성능
・댐퍼 내장으로 장치의 흔들림을 빠르게 수렴
・레벨링 밸브에 의해 높이 조정 가능
・하한 스토퍼 내장
・클린 룸 대응
・서포트 밸브 시스템 옵션 선택 가능

		PSB-D145	PSB-D170	PSB-D230	PSB-D300	PSB-D360
제진 방법		벨로우즈형 공기 스프링
H	작동시 높이(mm)	127	127	127	127	127
H	최소 높이(mm)	117	117	117	117	117
W×D	외형치수(mm)	200 × 200	230 × 230	280 × 280	330x330	420x420
A×B	설치 치수 (mm)	180 × 180	210 × 210	250 × 250	300x300	390 × 390
C	장착 구멍 직경 (mm)	Φ12		Φ16
T1	상판 두께(mm)	16	16	16	16	16
T2	하판 두께(mm)	9	9	9	9	9
제품질량(kg)		12	15	24	36	54
수압 면적 (cm2)		196	260	470	750	1070
유닛 1개당 탑재 질량(kg)		800	1050	1900	3000	4250
공급 압력 (MPa)		0.5
댐핑 방식		실리콘 오일
고유 진동수		상하：약 3Hz 수평：약 3Hz
레벨링 방식		자동 레벨링

・반도체 및 FPD (LCD) 검사 장치
・반도체 및 FPD (LCD) 제조 장치
・반도체 및 FPD (LCD) 정밀 측정 장치 등