50C 모델 클린 룸용 탁상형 제진대

탁상형 제진대 패시브

클린 룸 대응의 공기 스프링식 탁상형 제진대: SUS304 탑재반, 집중 배기 사양의 자동 높이 조정 밸브를 갖추어 발진 대책 만전의 클린 룸 대응의 고성능 탁상형 제진대입니다.
(짐벌 피스톤은 장비되어 있지 않습니다)

탑재반의 표면은 SUS304로 해, 클린 룸 내부에 먼지를 낼 걱정은 없습니다. 또한 특수 제진 구조로 우수한 진동 감쇠 특성을 가지고 있습니다.

더욱 얇고 사용하기 쉬워졌습니다.

자동 높이 조정 밸브의 배기는 한 곳에 정리되어 뒷면의 집중 배기구보다 부속 우레탄 튜브를 통해 배출되므로 클린 룸 내의 공기를 더럽히지 않습니다.

많은 실적을 가진 50 시리즈와 같은 특수 소형 공기 스프링을 채용. 오리피스에 의한 큰 공기 감쇠와 함께 50 시리즈와 같은 우수한 제진 효과를 얻을 수 있습니다.

품번	50C-0405A	50C-0506A	50C-0605A	50C-0806A
고유 진동수	상하：약 2.5Hz
레벨링 방식	집중 배기식 자동 레벨링 {0.3~0.7MPa(3~7kgf/cm²)의 압축 공기 또는 질소 가스로 작동}
치수：폭×안길이×높이(mm)	400×500×53	500×600×53	600×500×53	800×600×53
탑재반 사양	표면 SUS304
최대 적재 질량 (kg)	120
제품질량(kg)	22	29	29	44
부속품	필터 부착 레귤레이터, 소프트 나일론 튜브 6mm×3mm, 우레탄 튜브 6mm×3mm, 피팅(R1/4)
옵션	소형 압축기

주1) 큰 편하중, 고중심기기의 경우는 당사에 상담해 주십시오.

・반도체 검사용 현미경
・액정 검사용 현미경
・기타 클린 룸에서 사용되는 정밀 기기

제품정보