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제진대 + 고정밀 스테이지의 일체 제안

고정밀 스테이지의 성능을 최대한 발휘하기 위해서는, 바닥 진동을 저감하는 제진 기능과,
택트 타임을 향상시키는 제진 기능을 갖춘 제진대가 필수적입니다.
쿠라시키 화공 에서는, (주) 모션 트러스트와 협업해, 고정밀 스테이지로부터 제진대까지
설계·제조를 일관되게 실시함으로써 원스톱화를 가능하게 했습니다.

쿠라시키 화공 그룹의 (주) 모션 트러스트는 20년 이상 고정밀 스테이지
전업 메이커로서 FPD·반도체용을 비롯해 다양한 제조 장치용으로 커스텀 스테이지를
제작하고 있습니다.
고정밀 스테이지의 용명은 꼭 쿠라시키 화공 그룹에 상담해 주십시오.

관련 페이지

• (주) 모션 트러스트

특징

스테이지 구성 부재의 선정 노하우

• 세라믹 (알루미나, 코제라이트, etc)
• 石材 (그라 나이트, 미네랄 주조)
• 주물 재료
  다양한 재료 중에서 요구되는 정밀도를 실현하기 위해 최적의 조합을 제안합니다.

모션 컨트롤 기술

국내/해외 제조업체의 모션 컨트롤러, 모터 드라이버, 선형 모터,
리니어 스케일 및 레이저 간섭계의 최적의 조합으로 고정밀도를 실현합니다.

조립 조정 기술

축 안내 기구(구름 가이드, 에어 슬라이더 스테이지)의 조합이나 Z/θ/틸트 기구 등
다양한 구성을 가진 스테이지의 풍부한 조립 노하우를 가지고 있습니다.

반도체용 제작 예

반도체 제조에 있어서의 노광·묘화·검사 장치 등 각 공정에 있어서 최적인 제품을 제공합니다.
저중심 또한 높이를 낮게 억제한 초정밀 구동을 추구한 스테이지와 제진 리니어 액티브 제진대의 조합.

FPD용 제작 예

OLED나 LCD 제조에 있어서의 노광·측정·검사 장치 등 각 공정에 있어서 최적인 제품을 제공합니다.
긴 스트로크에서의 지시 위치의 반복 재현성의 정밀도를 추구한 스테이지와, 공압 제어 액티브 마운트를 포함하는 다각 지지 구조의 제진대에 의한 조합.

스테이지 공장 소개(제6공장)

공장 전경

지붕 높이	수하량 천단：8,200 수상梁天端：9,400
사이즈	W 16,000 × D 74,000

반입구

사이즈	W 8,000 × D 13,000 (104m3)
크레인	20t

정비실

사이즈	W 16,000 × D 30,400 (486.4m2)
크레인	5t

전실

사이즈	W 10,000 × D 6,600 (66m2)

클린룸

사이즈	W 16,000 × D 24,000 (384m2)
크레인	2.8t