정밀 스테이지의 성능을 최대한 발휘하기 위해서는 바닥 진동을 저감하는 제진 기능과 택트 타임을 향상시키는 제진 기능을 갖춘 제진대가 필수적입니다.
쿠라시키 화공 에서는 정밀 스테이지에서 제진대까지 설계・제조를 일관되게 실시함으로써 원스톱화를 가능하게 했습니다. 고도화하는 장치 성능 · 고객의 요구에 부응하여 미래에 앞선 신제품을 판매하고 있습니다.

• 
• 

정밀 스테이지

반도체용 소형 스테이지부터 액정용 대형 스테이지까지 폭넓은 제작 실적을 자랑하는 (주) 모션 트러스트와 협업. 신공장을 준공하여 새로운 생산 체제를 정돈했습니다. 요청에 따라 최적의 정밀 스테이지 + 제진대를 제안합니다.

제진대

진동 제어의 전문 메이커로서 폭넓은 바리에이션으로 고객의 요구에 부응합니다.

HI-WEDGE

베이스 받침대의 하부에 설치하여 고정밀 레벨링 기능을 발휘합니다.
(0.24mm~/1회전, 경사는 ±3°까지 대응)

반도체용 제작 예

반도체 제조에 있어서의 노광·묘화·검사 장치 등 각 공정에 있어서 최적인 제품을 제공합니다.
저중심 또한 높이를 낮게 억제한 초정밀 구동을 추구한 스테이지와 제진 리니어 액티브 제진대의 조합.

FPD용 제작 예

OLED나 LCD 제조에 있어서의 노광·측정·검사 장치 등 각 공정에 있어서 최적인 제품을 제공합니다.
긴 스트로크에서의 지시 위치의 반복 재현성의 정밀도를 추구한 스테이지와, 공압 제어 액티브 마운트를 포함하는 다각 지지 구조의 제진대에 의한 조합.

스테이지 공장 소개(제6공장)

공장 전경

반입구

정비실

전실

클린룸