パッシブ除振ユニット
| 品番 | PSB-D145 | PSB-D170 | PSB-D230 | PSB-D300 | PSB-D360 | |
| 除振方式 | ベローズ型空気ばね | |||||
| 固有振動数 | 上下：約3Hz 水平：約3Hz | |||||
| レベリング方式 | 自動レベリング | |||||
| 搭載質量（4基時） (kg) | ～3,200 | ～4,200 | ～7,600 | ～12,000 | ～17,000 | |
| 供給圧力 (MPa) | 0.5 | |||||
| ダンピング方式 | シリコーンオイル | |||||
| H | 作動時高さ (mm) | 127 | ||||
| 最小高さ (mm) | 117 | |||||
| W×D | 外形寸法 (mm) | 200 × 200 | 230 × 230 | 280 × 280 | 330 × 330 | 420 × 420 |
| A×B | 取付寸法 (mm) | 180 × 180 | 210 × 210 | 250 × 250 | 300 × 300 | 390 × 390 |
| C | 取付穴径 (mm) | Φ12 | Φ16 | |||
| T1 | 上プレート厚さ (mm) | 16 | ||||
| T2 | 下プレート厚さ (mm) | 9 | ||||
| 受圧面積 (cm2) | 196 | 260 | 470 | 750 | 1070 | |
| 製品質量 (kg) | 12 | 15 | 24 | 36 | 54 | |
・電子顕微鏡
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・半導体製造装置/検査装置
・FPD製造装置/検査装置
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