搭载盘的表面为SUS 304,不用担心清洁室内部会产生灰尘。特殊减振结构,具有良好的减振性能。
它变得更薄,更容易使用。
自动高度调节阀的排气集中在一个地方,从背面的集中排气口通过附带的氨基甲酸乙酯管排出,所以不会污染无尘室内的空气。
采用与拥有众多经验的50系列相同的特殊小型空气弹簧。与50系列具有相同的优异减振效果,同时喷孔产生更大的空气衰减。
商品编号 | 50C-0405A | 50C-0506A | 50C-0605A | 50C-0806A |
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固有频率 | 上下:约2.5 Hz | |||
校准系统 | 中央排气自动调平 { 使用 0.3 至 0.7 MPa(3 至 7 kgf/cm²)的压缩空气或氮气操作} | |||
尺寸:宽x深x高 (mm) | 400 × 500 × 53 | 500 × 600 × 53 | 600 × 500 × 53 | 800 × 600 × 53 |
安装盘规格 | 表面SUS 304 | |||
最大装载质量 (kg) | 120 | |||
产品质量 (kg) | 22 | 29 | 29 | 44 |
附件 | 带过滤器的调节器,软尼龙管 6mm x 3mm, 聚氨酯管 6mm x 3mm,配件 (R1/4) | |||
选项 | 小型压缩机 |
注1) 较大的偏负荷、高重心设备时,请咨询敝公司。
・半导体检查显微镜
・液晶检查用显微镜
・其他无尘室使用的精密设备
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