产品信息

无源除振装置

被动除振单元 【膜片型单元型】 PST

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一种紧凑且具有高减振性能的万向节活塞机构
除振功能采用成熟的 (圆顶) 万向活塞机构,可在水平方向发挥出色的除振性能。另外,因为是确保大水箱容量的构造,所以垂直方向的减振性能也很优秀。此外,通过可变喷孔功能,可以优化减振性能和减振性能之间的平衡。

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特性

·所有尺寸工作高度统一为185mm
·可利用可变喷孔调整除振及减振性能
·支持洁净室

规格

外形图

PST规格表

型式PST-304PST-305PST-306PST-308
除振方式旋转活塞式空气弹簧
固有频率垂直方向2.0 ~ 2.5 Hz1.5 ~ 2.0 Hz
水平方向1.5 ~ 1.8 Hz1.5 ~ 1.8 Hz
校准系统自动校平
装载质量 (4台) (kg)~ 400~ 700~ 1250~ 3000
供应压力 (MPa)0.4 ~ 0.6
外形尺寸 (mm)A170 × 170170 × 170200 × 200250 × 250
安装尺寸 (mm)B150 × 150150 × 150180 × 180230 × 230
工作高度 (毫米)C185185185185
最小高度 (mm)D180180180180
安装孔径 (mm)E10101013
上板厚度 (mm)T10101010
下板厚度 (mm)F6666
产品质量 (kg)771217

主要用途

·电子显微镜
・精密测量装置
・半导体制造装置/检查装置
・FPD制造装置/检查装置

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