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除振台+高精度工作台的一体化方案

为了最大限度地发挥高精度工作台的性能，需要具备降低地板振动的除振功能、
具备提高节拍时间的减振功能的除振台是必不可少的。
仓敷化工与 (株) Motion Trust合作，从高精度工作台到除振台
通过始终如一地进行设计和制造，实现了一站式。

仓敷化工集团的 (株) Motion Trust,在20年以上的时间里一直致力于高精度阶段的
作为一家专业制造商，我们将为FPD和半导体等各种制造设备提供定制工作台
正在制作。
如需使用高精度工作台，请与仓敷化工集团联系。

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• (株) Motion Trust

特性

工作台构成部件的选定技术

• 陶瓷(氧化铝、Cogerite、etc)
• 石材(石榴石，矿物铸件)
• 铸物材料
  从多种多样的材料中，为实现所要求的精度，提出最佳组合方案。

运动控制技术

通过国内/海外制造商的运动控制器、电机驱动器、直线电机、
线性标尺及激光干涉仪的最佳组合，实现高精度化。

装配调整技术

本公司拥有轴导向机构(滚动导轨、空气滑块载物台)的组合、Z/θ/倾斜机构等
拥有各种结构工作台的丰富组装技术。

半导体制造实例

我们为半导体制造中的曝光、绘图和检查设备等每个过程提供最佳产品。
低重心、低高度追求超精密驱动的载物台与阻尼线性主动防振台的组合。

FPD制作示例

我们为OLED和LCD制造中的曝光、测量和检查设备等每个过程提供最佳产品。
追求长行程指示位置重复性再现性的载物台与包含气动控制主动支架的多腿支撑结构的组合。

舞台工厂介绍 (第6工厂)

工厂全景

屋顶高度	水梁顶端:8,200水梁顶端:9,400
大小	W 16,000 × D 74,000

入口

大小	W 8,000 × D 13,000 (104m3)
起重机	20t

维修室

大小	W 16,000 × D 30,400 (486.4m2)
起重机	5t

前室

大小	W 10,000 × D 6,600 (66m2)

洁净室

大小	W 16,000 × D 24,000 (384m2)
起重机	2.8t