
搭載盤の表面はSUS304とし、クリーンルーム内部に塵を出す心配はありません。また特殊制振構造により、優れた振動減衰特性を有しています。
普通のデスクに設置しても搭載機器の操作に全く支障ありません。
自動高さ調整バルブの排気は一か所にまとめられて、背面の集中排気口より付属のウレタンチューブを通って排出されますので、クリーンルーム内の空気を汚すことはありません。
多くの実績を有するTSPシリーズと同じ特殊小型空気ばねを採用。オリフィスによる大きな空気減衰とともにTSPシリーズと同じ優れた除振効果が得られます。
品番 | TCP-0405A | TCP-0605A | TCP-0806A | |
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固有振動数 | 上下:1.8~2.5Hz | |||
レベリング方式 | Aタイプ | 自動レベリング{ 0.25〜0.5MPa の圧縮空気または窒素ガスで作動 } 集中排気仕様 | ||
寸法:幅 × 奥行 × 高さ (mm) | 440 × 540 × 57 | 600 × 500 × 57 | 800 × 600 × 57 | |
搭載盤仕様 | ステンレス仕上げ | |||
最大積載質量 (kg) | 100 | |||
製品質量 (kg) | 23 | 25 | 35 | |
付属品 | Aタイプ | φ6mmナイロンチューブ ×5m・管継手(R1/4) | ||
Mタイプ | 手押しポンプ・虫回しドライバー |
注1)大きな偏荷重、高重心機器の場合は弊社にご相談ください。
・半導体検査用顕微鏡
・液晶検査用顕微鏡
・その他のクリーンルームで使用される精密機器
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