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卓上形除振台 パッシブ

TCPモデル クリーンルーム用卓上形除振台

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クリーンルーム対応の空気ばね式卓上形除振台
SUS304搭載盤、集中排気仕様の自動高さ調整バルブを備え、発塵対策万全のクリーンルーム対応の高性能卓上形除振台です。
(ジンバルピストンは装備されておりません)

※モデルチェンジに際し、50CシリーズをTCPシリーズに変更

性能・特長

ステンレス製搭載盤

搭載盤の表面はSUS304とし、クリーンルーム内部に塵を出す心配はありません。また特殊制振構造により、優れた振動減衰特性を有しています。

使用高さ57mmの薄型設計

普通のデスクに設置しても搭載機器の操作に全く支障ありません。

集中排気仕様の自動高さ調整バルブ

自動高さ調整バルブの排気は一か所にまとめられて、背面の集中排気口より付属のウレタンチューブを通って排出されますので、クリーンルーム内の空気を汚すことはありません。

実績ある高性能空気ばねを採用

多くの実績を有するTSPシリーズと同じ特殊小型空気ばねを採用。オリフィスによる大きな空気減衰とともにTSPシリーズと同じ優れた除振効果が得られます。

仕様・規格

品番TCP-0405ATCP-0605ATCP-0806A
固有振動数上下:1.8~2.5Hz
レベリング方式Aタイプ自動レベリング{ 0.25〜0.5MPa の圧縮空気または窒素ガスで作動 }
集中排気仕様
寸法:幅 × 奥行 × 高さ (mm)440 × 540 × 57600 × 500 × 57800 × 600 × 57
搭載盤仕様ステンレス仕上げ
最大積載質量 (kg)100
製品質量 (kg)232535
付属品Aタイプφ6mmナイロンチューブ ×5m・管継手(R1/4)
Mタイプ手押しポンプ・虫回しドライバー

注1)大きな偏荷重、高重心機器の場合は弊社にご相談ください。

主な用途

・半導体検査用顕微鏡
・液晶検査用顕微鏡
・その他のクリーンルームで使用される精密機器

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