TCPモデルクリーンルーム用卓上形除振台

卓上形除振台パッシブ

クリーンルーム対応の空気ばね式卓上形除振台: SUS430搭載盤、集中排気仕様の自動高さ調整バルブを備え、発塵対策万全のクリーンルーム対応の高性能卓上形除振台です。
（ジンバルピストンは装備されておりません）

※モデルチェンジに際し、50CシリーズをTCPシリーズに変更

搭載盤の表面はSUS430とし、クリーンルーム内部に塵を出す心配はありません。また特殊制振構造により、優れた振動減衰特性を有しています。

普通のデスクに設置しても搭載機器の操作に全く支障ありません。

自動高さ調整バルブの排気は一か所にまとめられて、背面の集中排気口より付属のウレタンチューブを通って排出されますので、クリーンルーム内の空気を汚すことはありません。

品番	TCP-0405A	TCP-0605A	TCP-0806A
固有振動数	上下：1.8~2.5Hz
レベリング方式	自動レベリング{ 0.25〜0.5MPa の圧縮空気または窒素ガスで作動 } 集中排気仕様
寸法：幅 × 奥行 × 高さ (mm)	440 × 540 × 57	600 × 500 × 57	800 × 600 × 57
搭載盤仕様	ステンレス仕上げ
最大積載質量 (kg)	100
製品質量 (kg)	23	25	35
付属品	φ6mmナイロンチューブ ×5m・管継手(R1/4）

注1）大きな偏荷重、高重心機器の場合は弊社にご相談ください。

・半導体検査用顕微鏡
・液晶検査用顕微鏡
・その他のクリーンルームで使用される精密機器

製品情報