액티브 제진 유닛
| 품번 | EST-A6 | EST-A8 | EST-A11 | |
| 액추에이터 | 공기 스프링 | |||
| 제어 방법 | FB・FF 6 자유도 제어 MFF(옵션) | |||
| 레벨링 방식 | 자동 레벨링 | |||
| 컨트롤러 ※1 | 디지털 컨트롤러 | |||
| 탑재 질량(kg) | 230 | 550 | 1120 | |
| W×D | 제진 유닛 외형 치수(mm) | 230×230 | 270×270 | 320×320 |
| A×B | 제진 유닛 설치 치수(mm) | 210×210 | 250×250 | 300×300 |
| H | 착좌시 높이(mm) | 178 | ||
| 작동시 높이(mm) | 180 | |||
| T1 | 상부 플레이트 두께(mm) | 20 | ||
| T2 | 하부 플레이트 두께(mm) | 15 | ||
| 제품질량(kg) | 18 | 22 | 35 | |
※1：컨트롤러, 전원 유닛은 별도로 놓습니다.
※2：공기 공급압 0.6MPa의 경우, 최대 탑재 질량. 제진 유닛 1기당입니다.
・반도체 제조장치/검사장치
・FPD 제조장치/검사장치
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