제진 유닛 액티브
・돔 짐벌 피스톤과 코일 스프링의 하이브리드 구조.
・소형 풋 프린트를 실현.
・고중심 장치에 최적.
| EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
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| 액추에이터 | 선형 모터 | |||||
| 제어 방법 | FB·FF 6 자유도 제어 | |||||
| 레벨링 방식 | 자동 레벨링 | |||||
| 컨트롤러 ※1 | 디지털 컨트롤러 | |||||
| 탑재 질량(kg) ※2 | 190～320 | 240～350 | 290～400 | 340～570 | 500～660 | 630～750 |
| 아이솔레이터 외형치수(mm) | 220×220 | 240×240 | ||||
| 아이솔레이터 설치 치수(mm) | 200×200 | 220×220 | ||||
| 작동시 높이(mm) | 176 | 185 | ||||
| 아이솔레이터 질량(kg) | 20 | 29 | ||||
※1：컨트롤러, 전원 유닛은 별도로 놓습니다.
※2：공기 공급압 0.6MPa의 경우, 최대 탑재 질량. 아이솔레이터 1기당입니다.
· 투과형 전자 현미경
· 주사형 전자 현미경 등
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