액티브 제진 유닛
| 품번 | EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
| 액추에이터 | 선형 모터 | ||||||
| 제어 방법 | FB·FF 6 자유도 제어 | ||||||
| 레벨링 방식 | 자동 레벨링 | ||||||
| 컨트롤러 ※1 | 디지털 컨트롤러 | ||||||
| 탑재 질량(kg) | 190～320 | 240～350 | 290～400 | 340～570 | 500～660 | 630～750 | |
| W×D | 제진 유닛 외형 치수(mm) | 220×220 | 240×240 | ||||
| A×B | 제진 유닛 설치 치수(mm) | 200×200 | 220×220 | ||||
| H | 착좌시 높이(mm) | 173 | 182 | ||||
| 작동시 높이(mm) | 176 | 185 | |||||
| T1 | 상부 플레이트 두께(mm) | 15 | 15 | ||||
| T2 | 하부 플레이트 두께(mm) | 10 | 6 | ||||
| 제품질량(kg) | 20 | 29 | |||||
※1：컨트롤러, 전원 유닛은 별도로 놓습니다.
※2：공기 공급압 0.6MPa의 경우, 최대 탑재 질량. 제진 유닛 1기당입니다.
· 투과형 전자 현미경
· 주사형 전자 현미경 등
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