액티브 제진 유닛【리니어 모터 제어】LHKP type 제진 리니어 액티브 제진대

제진 유닛 액티브

반도체 제조장치·검사장치의 생산성 향상 지원: 리니어 모터 제어 타입과 공압 제어 타입의 2종류가 보급되어 있는 액티브 제진대.
제진 리니어 액티브 제진대는 두 가지 장점을 모두 추구했습니다.

소형 컴프레서에서도 사용할 수 있습니다.

제진 성능이 뛰어난 LH 타입을 제진 용도에도 사용 가능하게.

스테이지 이동의 정보를 사전에 입력하는 것으로, 제진 성능의 향상을 실현.

	EST-L6HKP-200L	EST-L6HKP-200M	EST-L6HKP-200H	EST-L8HKP-200
액추에이터	선형 모터
제어 방법	FB·FF 6 자유도 제어, MFF(모션 피드 포워드)
레벨링 방식	자동 레벨링
컨트롤러※1	디지털 컨트롤러
탑재 질량 (kg)※2	340~570	460~670	570~750	640~1250
아이솔레이터 외형치수 (mm)	315x315			350x350
작동시 높이(mm)	220
아이솔레이터 질량 (kg)	70			90

※1：컨트롤러 박스는 별도로 놓습니다.
※2：공기 공급압 0.6MPa의 경우, 최대 탑재 질량. 아이솔레이터 1기당입니다.

· 반도체 제조 장치
· 반도체 검사 장치

제품정보