액티브 제진 유닛
| 품번 | EST-L6HKP-200L | EST-L6HKP-200M | EST-L6HKP-200H | EST-L8HKP-200 | |
| 액추에이터 | 선형 모터 | ||||
| 제어 방법 | FB·FF 6 자유도 제어, MFF(모션 피드 포워드) | ||||
| 레벨링 방식 | 자동 레벨링 | ||||
| 컨트롤러 ※1 | 디지털 컨트롤러 | ||||
| 탑재 질량(kg) | 340~570 | 460~670 | 570~750 | 640~1250 | |
| W×D | 제진 유닛 외형 치수(mm) | 315x315 | 350x350 | ||
| A×B | 제진 유닛 설치 치수(mm) | 295 × 295 | 325x325 | ||
| H | 착좌시 높이(mm) | 217 | |||
| 작동시 높이(mm) | 220 | ||||
| T1 | 상부 플레이트 두께(mm) | 15 | 16 | ||
| T2 | 하부 플레이트 두께(mm) | 9 | 9 | ||
| 제품질량(kg) | 70 | 90 | |||
※1：컨트롤러 박스는 별도로 놓습니다.
※2：공기 공급압 0.6MPa의 경우, 최대 탑재 질량. 제진 유닛 1기당입니다.
・반도체 제조장치/검사장치
・FPD 제조장치/검사장치
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