제진 유닛 패시브
최적 설계된 댐퍼에 의해 스테이지 이동시의 흔들림을 작게 합니다.
스테이지 등의 큰 무게 중심 이동을 수반하는 장치를 제진하는 경우, 스테이지의 기울기를 빠르게 수평 복귀시키기 위해 대량의 에어를 급배기하는 빠른 제어가 필수 조건이 됩니다. 그것을 가능하게 한 것이 지원 밸브 시스템입니다.
대량의 에어급 배기를 실시해, 스테이지의 기울기를 재빠르게 수평으로 복귀시킵니다.
| PST-311D | PST-314D | |||
|---|---|---|---|---|
| 제진 유닛 | 댐퍼 유닛 | 제진 유닛 | 댐퍼 유닛 | |
| 제진 방법 | 짐벌 피스톤 형 공기 스프링 | － | 짐벌 피스톤 형 공기 스프링 | － |
| 고유 진동수 | 상하：1.8～2.5Hz 수평：1.5～2.0Hz | |||
| 레벨링 방식 | 자동 레벨링 | |||
| 탑재 질량(4각시) (kg) | ～6000 | － | ～12000 | － |
| 공급 압력 (MPa) | 0.4 ~ 0.7 | － | 0.4 ~ 0.7 | － |
| 외형치수(A) (mm) | 330x330 | 150 × 150 | 400x400 | 150 × 150 |
| 외형치수(B) (mm) | 240 × 240 | 150 × 150 | 330x330 | 150 × 150 |
| 설치 치수(C) (mm) | 300x300 | 125x125 | 370 × 370 | 125x125 |
| 설치 치수(D) (mm) | 210 × 210 | 125x125 | 300x300 | 125x125 |
| 작동 높이(E) (mm) | 230 | 230 | 230 | 230 |
| 최소 높이(F) (mm) | 225 | 220 | 225 | 220 |
| 장착 구멍 직경(G) (mm) | 16 | 15 | 16 | 15 |
| 두께(H) (mm) | 9 | 9 | 9 | 9 |
| 두께(I) (mm) | 4.5 | 9 | 4.5 | 9 |
| 유닛 1개당 제품 질량(kg) | 26 | 9 | 42 | 9 |
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