パッシブ除振ユニット PSB-D(ダンパー内蔵)

除振ユニットパッシブ

・優れた制振性能
・ダンパー内蔵で装置の揺れを素早く収束
・レベリングバルブにより高さ調整可能
・下限ストッパー内蔵
・クリーンルーム対応
・サポートバルブシステム　オプション選択可能

		PSB-D145	PSB-D170	PSB-D230	PSB-D300	PSB-D360
除振方法		ベローズ型空気ばね
H	作動時高さ (mm)	127	127	127	127	127
H	最小高さ (mm)	117	117	117	117	117
W×D	外形寸法 (mm)	200 × 200	230 × 230	280 × 280	330 × 330	420 × 420
A×B	取付寸法 (mm)	180 × 180	210 × 210	250 × 250	300 × 300	390 × 390
C	取付穴径 (mm)	Φ12		Φ16
T1	上プレート厚さ (mm)	16	16	16	16	16
T2	下プレート厚さ (mm)	9	9	9	9	9
製品質量 (kg)		12	15	24	36	54
受圧面積 (cm2)		196	260	470	750	1070
ユニット1個当たり搭載質量 (kg)		800	1050	1900	3000	4250
供給圧力 (MPa)		0.5
ダンピング方式		シリコーンオイル
固有振動数		上下：約3Hz　水平：約3Hz
レベリング方式		自動レベリング

・半導体及びFPD(LCD)検査装置
・半導体及びFPD(LCD)製造装置
・半導体及びFPD(LCD)精密測定装置等

製品情報