製品情報

除振台・ステージ

高度な振動制御/モーションコントロール技術でナノテクノロジーを支えます。液晶/半導体の製造検査工程や電子顕微鏡に採用されています。

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除振ユニット アクティブ

全周波数での優れた除振効果を発揮します。
除振性能に加え制振性能が必要な装置にも最適設計が可能です。

除振ユニット パッシブ

設計の自由度を高める豊富なラインナップから、搭載装置に合わせた最適な除振システムを構成できます。

卓上形除振台 アクティブ

エアー不要で低周波から高周波まで高い除振性能を発揮します。
高性能と使いやすさを追求した除振台です。

卓上形除振台 パッシブ

コストパフォーマンスに優れており、用途に合わせ選べる卓上パッシブシリーズです。

その他除振台 パッシブ

優れた除振性能を発揮するジンバルピストン構造を採用しています。
精密機器の操作性及び作業性が向上できるように豊富なラインナップを準備しました。

精密ステージ + 除振台

精密ステージと除振台のワンストップ化を実現しました。
微細化し続ける顧客ニーズにカスタマイズで対応可能です。

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