高度な振動制御/モーションコントロール技術でナノテクノロジーを支えます。液晶/半導体の製造検査工程や電子顕微鏡に採用されています。
全周波数での優れた除振効果を発揮します。
除振性能に加え制振性能が必要な装置にも最適設計が可能です。
設計の自由度を高める豊富なラインナップから、搭載装置に合わせた最適な除振システムを構成できます。
エアー不要で低周波から高周波まで高い除振性能を発揮します。
高性能と使いやすさを追求した除振台です。
精密ステージと除振台のワンストップ化を実現しました。
微細化し続ける顧客ニーズにカスタマイズで対応可能です。
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