製品情報

卓上形除振台 パッシブ

50Cモデル クリーンルーム用卓上形除振台 ※在庫限り

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クリーンルーム対応の空気ばね式卓上形除振台
SUS304搭載盤、集中排気仕様の自動高さ調整バルブを備え、発塵対策万全のクリーンルーム対応の高性能卓上形除振台です。
(ジンバルピストンは装備されておりません)

※こちらの製品はモデルチェンジのため、在庫分の販売で終了となります。

性能・特長

ステンレス製搭載盤

搭載盤の表面はSUS304とし、クリーンルーム内部に塵を出す心配はありません。また特殊制振構造により、優れた振動減衰特性を有しています。

使用高さ53mm

さらに薄型になり、使いやすくなりました。

集中排気仕様の自動高さ調整バルブ

自動高さ調整バルブの排気は一か所にまとめられて、背面の集中排気口より付属のウレタンチューブを通って排出されますので、クリーンルーム内の空気を汚すことはありません。

実績ある高性能空気ばねを採用

多くの実績を有する50シリーズと同じ特殊小型空気ばねを採用。オリフィスによる大きな空気減衰とともに50シリーズと同じ優れた除振効果が得られます。

仕様・規格

品番50C-0405A50C-0506A50C-0605A50C-0806A
固有振動数上下:約2.5Hz
レベリング方式集中排気式自動レベリング
{ 0.3〜0.7MPa (3〜7kgf/cm²) の圧縮空気または窒素ガスで作動 }
寸法:幅 × 奥行 × 高さ (mm)400 × 500 × 53500 × 600 × 53600 × 500 × 53800 × 600 × 53
搭載盤仕様表面 SUS304
最大積載質量 (kg)120
製品質量 (kg)22292944
付属品   フィルター付きレギュレーター、ソフトナイロンチューブ 6mm×3mm、
ウレタンチューブ 6mm×3mm、管継手(R1/4)
オプション小型コンプレッサー

注1)大きな偏荷重、高重心機器の場合は弊社にご相談ください。

主な用途

・半導体検査用顕微鏡
・液晶検査用顕微鏡
・その他のクリーンルームで使用される精密機器

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