50Cモデルクリーンルーム用卓上形除振台

卓上形除振台パッシブ

クリーンルーム対応の空気ばね式卓上形除振台: SUS304搭載盤、集中排気仕様の自動高さ調整バルブを備え、発塵対策万全のクリーンルーム対応の高性能卓上形除振台です。
（ジンバルピストンは装備されておりません）

搭載盤の表面はSUS304とし、クリーンルーム内部に塵を出す心配はありません。また特殊制振構造により、優れた振動減衰特性を有しています。

さらに薄型になり、使いやすくなりました。

自動高さ調整バルブの排気は一か所にまとめられて、背面の集中排気口より付属のウレタンチューブを通って排出されますので、クリーンルーム内の空気を汚すことはありません。

多くの実績を有する50シリーズと同じ特殊小型空気ばねを採用。オリフィスによる大きな空気減衰とともに50シリーズと同じ優れた除振効果が得られます。

品番	50C-0405A	50C-0506A	50C-0605A	50C-0806A
固有振動数	上下：約2.5Hz
レベリング方式	集中排気式自動レベリング { 0.3〜0.7MPa (3〜７kgf/cm²) の圧縮空気または窒素ガスで作動 }
寸法：幅 × 奥行 × 高さ (mm)	400 × 500 × 53	500 × 600 × 53	600 × 500 × 53	800 × 600 × 53
搭載盤仕様	表面 SUS304
最大積載質量 (kg)	120
製品質量 (kg)	22	29	29	44
付属品	フィルター付きレギュレーター、ソフトナイロンチューブ 6mm×3mm、ウレタンチューブ 6mm×3mm、管継手(R1/4）
オプション	小型コンプレッサー

注1）大きな偏荷重、高重心機器の場合は弊社にご相談ください。

・半導体検査用顕微鏡
・液晶検査用顕微鏡
・その他のクリーンルームで使用される精密機器

製品情報