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パッシブ除振ユニット

パッシブ除振ユニット 【ダイヤフラム形ユニットタイプ】PST

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コンパクトで高度な除振性能を実現した ジンバルピストン機構
除振機能は実績ある(ドーム)ジンバルピストン機構を採用し、水平方向にすぐれた除振性能を発揮します。また、大きなタンク容量を確保した構造ですので鉛直方向の除振性能も優れています。さらには、可変オリフィス機能により除振性能と制振性能とのバランスを最適にチューニングすることが可能です。

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特長

・全サイズ作動高さを185mmで統一
・可変オリフィスで除振・制振性能をチューニング可能
・クリーンルーム対応

仕様

外形図

PST 仕様表

型式PST-304PST-305PST-306PST-308
除振方式シンバルピストン型空気ばね
固有振動数鉛直方向2.0 ~ 2.5 Hz1.5 ~ 2.0 Hz
水平方向1.5 ~ 1.8 Hz1.5 ~ 1.8 Hz
レベリング方式自動レベリング
搭載質量(4基) (kg) ~ 400 ~ 700 ~ 1250 ~ 3000
供給圧力 (MPa)0.4 ~ 0.6
外形寸法 (mm)A170 × 170170 × 170200 × 200250 × 250
取付寸法 ( mm )B150 × 150150 × 150180 × 180230 × 230
作動高さ ( mm )C185185185185
最小高さ ( mm )D180180180180
取付穴径 ( mm )E10101013
上部プレート厚 ( mm )T10101010
下部プレート厚 ( mm )F6666
製品質量 ( kg ) 771217

主な用途

・電子顕微鏡
・精密測定装置
・半導体製造装置/検査装置
・FPD製造装置/検査装置

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