精密ステージの性能を最大限に発揮するためには、床振動を低減する除振機能と、タクトタイムを向上させる制振機能を備えた除振台が不可欠です。
倉敷化工では、精密ステージから除振台まで設計・製造を一貫して行うことでワンストップ化を可能にしました。高度化し続ける装置性能・顧客の要求に応え、未来に先駆けた新製品を販売していきます。

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精密ステージ

半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇る（株）モーショントラストと協業。新工場を竣工し、新たな生産体制を整えました。ご要望に応じて最適な精密ステージ+除振台をご提案します。

除振台

振動制御の専門メーカーとして、幅広いバリエーションでお客様のニーズにお応えします。

HI-WEDGE

ベース架台の下部に設置し、高精度なレベリング機能を発揮します。
（0.24mm～/1回転、傾斜は±3°まで対応）

半導体用　製作例

半導体製造における露光・描画・検査装置など各工程において最適な製品をご提供いたします。
低重心かつ高さを低く抑えた超精密駆動を追求したステージと、制振リニアアクティブ除振台の組み合わせ。

FPD用　製作例

OLEDやLCD製造における露光・測定・検査装置など各工程において最適な製品をご提供いたします。
長ストロークにおいて指示位置の繰り返し再現性の精度を追求したステージと、空圧制御アクティブマウントを含む多脚支持構造の除振台による組み合わせ。

ステージ工場紹介（第6工場）

工場全景

搬入口

整備室

前室

クリーンルーム