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除振台+高精度ステージの一体提案

高精度ステージの性能を最大限に発揮するためには、床振動を低減する除振機能と、
タクトタイムを向上させる制振機能を備えた除振台が不可欠です。
倉敷化工では、（株）モーショントラストと協業し、高精度ステージから除振台まで
設計・製造を一貫して行うことでワンストップ化を可能にしました。

倉敷化工グループの（株）モーショントラストは、20年以上にわたり高精度ステージの
専業メーカーとして、FPD・半導体向けを始め様々な製造装置向けにカスタムステージを
製作しております。 　　　　
高精度ステージのご用命は是非倉敷化工グループまでご相談ください。

関連ページ

• (株)モーショントラスト

特長

ステージ構成部材の選定ノウハウ

• セラミックス（アルミナ、コージェライト、etc）
• 石材（グラナイト、ミネラルキャスト）
• 鋳物材料
  多種多様な材料の中から、要求される精度を実現するために最適な組み合わせをご提案いたします。

モーションコントロール技術

国内/海外メーカーのモーションコントローラ、モータードライバー、リニアモーター、
リニアスケール及びレーザー干渉計の最適な組み合わせにより、高精度化を実現します。

組立調整技術

軸案内機構（転がりガイド、エアスライダーステージ）の組み合わせや、Z/θ/チルト機構など
様々な構成を持ったステージの豊富な組立ノウハウを有しております。

半導体用　製作例

半導体製造における露光・描画・検査装置など各工程において最適な製品をご提供いたします。
低重心かつ高さを低く抑えた超精密駆動を追求したステージと、制振リニアアクティブ除振台の組み合わせ。

FPD用　製作例

OLEDやLCD製造における露光・測定・検査装置など各工程において最適な製品をご提供いたします。
長ストロークにおいて指示位置の繰り返し再現性の精度を追求したステージと、空圧制御アクティブマウントを含む多脚支持構造の除振台による組み合わせ。

ステージ工場紹介（第6工場）

工場全景

屋根高	水下梁天端：8,200 水上梁天端： 9,400
サイズ	W 16,000 × D 74,000

搬入口

サイズ	W 8,000 × D 13,000 (104ｍ3)
クレーン	20ｔ

整備室

サイズ	W 16,000 × D 30,400 (486.4ｍ2)
クレーン	5ｔ

前室

サイズ	W 10,000 × D 6,600 (66ｍ2)

クリーンルーム

サイズ	W 16,000 × D 24,000 (384ｍ2)
クレーン	2.8t