製品情報

卓上形除振台

TCP クリーンルーム用卓上形除振台

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  • パッシブ
クリーンルーム対応の空気ばね式卓上形除振台
SUS430搭載盤、集中排気仕様の自動高さ調整バルブを備え、発塵対策万全のクリーンルーム対応の高性能卓上形除振台です。
(ジンバルピストンは装備されておりません)

※モデルチェンジに際し、50CシリーズをTCPシリーズに変更

特長

・使用高さ60mmの薄型設計
・特殊小型空気ばねを採用
・ステンレス製搭載盤
・集中排気仕様の自動高さ調整バルブ

仕様

TCP 仕様表

品番TCP-0405ATCP-0605ATCP-0806A
固有振動数上下:1.8~2.5Hz
レベリング方式Aタイプ自動レベリング{ 0.25〜0.5MPa の圧縮空気または窒素ガスで作動 }
集中排気仕様
寸法:幅 × 奥行 × 高さ (mm)440 × 540 × 57600 × 500 × 57800 × 600 × 57
搭載盤仕様ステンレス仕上げ
最大積載質量 (kg)100
製品質量 (kg)232535
付属品φ6mmナイロンチューブ ×5m・管継手(R1/4)

注1)大きな偏荷重、高重心機器の場合は弊社にご相談ください。

主な用途

・表面粗さ計
・輪郭形状測定器
・顕微鏡
・硬度計
・半導体検査装置
・その他のクリーンルームで使用される精密機器

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