主动除振装置
| 商品编号 | EST-A6 | EST-A8 | EST-A11 | |
| 执行器 | 空气弹簧 | |||
| 控制方法 | FB·FF6自由度控制MFF (选配) | |||
| 校准系统 | 自动校平 | |||
| 控制器*1 | 数字控制器 | |||
| 装载质量 (kg) | 230 | 550 | 1120 | |
| W×D | 除振单元外形尺寸 (mm) | 230×230 | 270×270 | 320×320 |
| A×B | 除振单元安装尺寸 (mm) | 210×210 | 250×250 | 300×300 |
| H | 坐高 (mm) | 178 | ||
| 工作高度 (毫米) | 180 | |||
| T1 | 顶板厚度 (mm) | 20 | ||
| T2 | 底板厚度 (mm) | 15 | ||
| 产品质量 (kg) | 18 | 22 | 35 | |
※1:控制器和电源分开放置。
※2:供气压力0.6MPa时为最大装载质量。每个除振单元。
·半导体制造装置/检查装置
・FPD制造装置/检查装置
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