主动除振装置
| 商品编号 | EST-B11W | EST-B14 | BST-B14W | |
| 执行器 | 空气弹簧 | |||
| 控制方法 | FB·FF6自由度控制MFF (选配) | |||
| 校准系统 | 自动校平 | |||
| 控制器*1 | 数字控制器 | |||
| 装载质量 (kg) | 1400 | 2000 | 3950 | |
| W×D | 除振单元外形尺寸 (mm) | 260×260 | 360×360 | 360×360 |
| A×B | 除振单元安装尺寸 (mm) | 215×215 | 320×320 | 320×320 |
| H | 坐高 (mm) | 259 | 257 | 327 |
| 工作高度 (毫米) | 261 | 260 | 330 | |
| T1 | 顶板厚度 (mm) | 30 | 15 | 40 |
| T2 | 底板厚度 (mm) | 30 | 39 | 39 |
| 产品质量 (kg) | 40 | 70 | 90 | |
※1:控制器和电源分开放置。
※2:供气压力0.6MPa时的最大装载质量。每个除振单元。
·半导体制造装置/检查装置
・FPD制造装置/检查装置
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