製品情報

アクティブ除振ユニット

アクティブ除振ユニット【空圧制御】Type-C

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同一フットプリントで幅広い荷重領域に対応可能な空圧制御アクティブ除振台
フットプリント統一で除振/制振仕様の荷重フルカバー
マウントの多段構造を採用し、更にフットプリント統一したことにより除振/制振仕様の両方で幅広い荷重に対応できます

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特長

・モジュール設計により部品共通化
・フットプリント統一で除振/制振仕様の荷重フルカバー
・マウントの多段構造を採用

仕様

外形図

Type-C 仕様表

品 番C5S/BC5S/BC5W/BC5W/BC6S/BC6S/BC6W/BC6W/BC8S/BC8S/BC8W/BC8W/BC8T/BC8T/B
用 途除振制振除振制振除振制振除振制振除振制振除振制振除振制振
アクチュエータ空気ばね
制御方法FB・FF 6自由度制御 MFF(オプション)
レベリング方式自動レベリング
コントローラ ※1Type-C専用デジタルコントローラ
搭載質量(kg) ※213029023074055016502700
W×D除振ユニット外形寸法(mm) 260×260
A×B除振ユニット取付寸法(mm) 210×210
H着座時高さ(mm)178259178259178259328
作動時高さ(mm)180261180261180261330
T1上部プレート厚さ(mm)15
T2下部プレート厚さ(mm)10
製品質量(kg)18251828203035

※1:コントローラ、電源ユニットは別置きです。
※2:空気供給圧0.6MPaの場合の最大搭載質量。除振ユニット1基あたりです。

主な用途

半導体製造装置
検査装置・FPD製造装置
検査装置

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