减振装置活动
・圆顶万向节活塞和螺旋弹簧的混合结构。
・实现了小足迹。
・适用于高重心装置。
| EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 执行器 | 直线电动机 | |||||
| 控制方法 | FB·FF6自由度控制 | |||||
| 校准系统 | 自动校平 | |||||
| 控制器*1 | 数字控制器 | |||||
| 装载质量 (kg) ※2 | 190～320 | 240～350 | 290～400 | 340～570 | 500～660 | 630～750 |
| 隔离器轮廓尺寸 (mm) | 220×220 | 240×240 | ||||
| 隔离器安装尺寸 (mm) | 200×200 | 220×220 | ||||
| 工作高度 (毫米) | 176 | 185 | ||||
| 隔离器质量 (kg) | 20 | 29 | ||||
*1：控制器和电源单元分开安装。
*2：供气压力为0.6MPa时的最大负载质量。每个隔离器。
・透射电子显微镜
・扫描电子显微镜等
想获取报价及其他信息请联系我们
All rights reserved, © Copyright Kurashiki Kako Co., Ltd.
想获取报价及其他信息请联系我们