主动除振装置
| 商品编号 | EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
| 执行器 | 直线电动机 | ||||||
| 控制方法 | FB·FF6自由度控制 | ||||||
| 校准系统 | 自动校平 | ||||||
| 控制器*1 | 数字控制器 | ||||||
| 装载质量 (kg) | 190～320 | 240～350 | 290～400 | 340～570 | 500～660 | 630～750 | |
| W×D | 除振单元外形尺寸 (mm) | 220×220 | 240×240 | ||||
| A×B | 除振单元安装尺寸 (mm) | 200×200 | 220×220 | ||||
| H | 坐高 (mm) | 173 | 182 | ||||
| 工作高度 (毫米) | 176 | 185 | |||||
| T1 | 顶板厚度 (mm) | 15 | 15 | ||||
| T2 | 底板厚度 (mm) | 10 | 6 | ||||
| 产品质量 (kg) | 20 | 29 | |||||
※1:控制器和电源分开放置。
※2:供气压力0.6MPa时为最大装载质量。每个除振单元。
・透射电子显微镜
・扫描电子显微镜等
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