主动减振单元【直线电机控制】 LHKP型减振线性主动减振台|仓敷化工株式会社产机产品现场

减振装置活动

主动减振单元【直线电机控制】 LHKP型减振线性主动减振台

小型压缩机也可以使用。

减振性能优异的LH型也可用于减振用途。

通过预先输入工作台移动信息，实现了减振性能的提高。

	EST-L6HKP-200L	EST-L6HKP-200M	EST-L6HKP-200H	EST-L8HKP-200
执行器	直线电动机
控制方法	FB·FF6自由度控制，MFF (运动前馈)
校准系统	自动校平
控制器*1	数字控制器
装载质量（kg）*2	340 ~ 570	460 ~ 670	570 ~ 750	640 ~ 1250
隔离器轮廓尺寸 (mm)	315 × 315			350 × 350
工作高度 (毫米)	220
隔离器质量 (kg)	70			90

*1：控制器盒单独安装。
*2：供气压力为0.6MPa时的最大负载质量。每个隔离器。