主动除振装置
| 商品编号 | EST-L6HKP-200L | EST-L6HKP-200M | EST-L6HKP-200H | EST-L8HKP-200 | |
| 执行器 | 直线电动机 | ||||
| 控制方法 | FB·FF6自由度控制，MFF (运动前馈) | ||||
| 校准系统 | 自动校平 | ||||
| 控制器*1 | 数字控制器 | ||||
| 装载质量 (kg) | 340 ~ 570 | 460 ~ 670 | 570 ~ 750 | 640 ~ 1250 | |
| W×D | 除振单元外形尺寸 (mm) | 315 × 315 | 350 × 350 | ||
| A×B | 除振单元安装尺寸 (mm) | 295 × 295 | 325 × 325 | ||
| H | 坐高 (mm) | 217 | |||
| 工作高度 (毫米) | 220 | ||||
| T1 | 顶板厚度 (mm) | 15 | 16 | ||
| T2 | 底板厚度 (mm) | 9 | 9 | ||
| 产品质量 (kg) | 70 | 90 | |||
※1:控制器盒单独放置。
※2:供气压力0.6MPa时为最大装载质量。每个除振单元。
·半导体制造装置/检查装置
・FPD制造装置/检查装置
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