パッシブ除振ユニット
| PST-311D | PST-314D | |||
| 除振ユニット | ダンパーユニット | 除振ユニット | ダンパーユニット | |
| 除振方式 | ジンバルピストン型空気ばね | － | ジンバルピストン型空気ばね | － |
| 固有振動数 | 上下：1.8～2.5Hz 水平：1.5～2.0Hz | |||
| レベリング方式 | 自動レベリング | |||
| 搭載質量(4脚時) (kg) | ～6,000 | － | ～12,000 | － |
| 供給圧力 (MPa) | 0.4 ～ 0.7 | － | 0.4 ～ 0.7 | － |
| 外形寸法(A) (mm) | 330 × 330 | 150 × 150 | 400 × 400 | 150 × 150 |
| 外形寸法(B) (mm) | 240 × 240 | 150 × 150 | 330 × 330 | 150 × 150 |
| 取付寸法(C) (mm) | 300 × 300 | 125 × 125 | 370 × 370 | 125 × 125 |
| 取付寸法(D) (mm) | 210 × 210 | 125 × 125 | 300 × 300 | 125 × 125 |
| 作動高さ(E) (mm) | 230 | 230 | 230 | 230 |
| 最小高さ(F) (mm) | 225 | 220 | 225 | 220 |
| 取付穴径(G) (mm) | 16 | 15 | 16 | 15 |
| 厚さ(H) (mm) | 9 | 9 | 9 | 9 |
| 厚さ(I) (mm) | 4.5 | 9 | 4.5 | 9 |
| 製品質量（1基） (kg) | 26 | 9 | 42 | 9 |
・電子顕微鏡
・精密測定装置
・半導体製造装置/検査装置
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