アクティブ除振ユニット
| 品 番 | EST-A6 | EST-A8 | EST-A11 | |
| アクチュエータ | 空気ばね | |||
| 制御方法 | FB・FF 6自由度制御 MFF（オプション） | |||
| レベリング方式 | 自動レベリング | |||
| コントローラ ※1 | デジタルコントローラ | |||
| 搭載質量(kg) | 230 | 550 | 1120 | |
| W×D | 除振ユニット外形寸法(mm) | 230×230 | 270×270 | 320×320 |
| A×B | 除振ユニット取付寸法(mm) | 210×210 | 250×250 | 300×300 |
| H | 着座時高さ(mm) | 178 | ||
| 作動時高さ(mm) | 180 | |||
| T1 | 上部プレート厚さ(mm) | 20 | ||
| T2 | 下部プレート厚さ(mm) | 15 | ||
| 製品質量(kg) | 18 | 22 | 35 | |
※1：コントローラ、電源ユニットは別置きです。
※2：空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。除振ユニット1基あたりです。
・半導体製造装置/検査装置
・FPD製造装置/検査装置
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