アクティブ除振ユニット
| 品 番 | EST-B11W | EST-B14 | BST-B14W | |
| アクチュエータ | 空気ばね | |||
| 制御方法 | FB・FF 6自由度制御 MFF（オプション） | |||
| レベリング方式 | 自動レベリング | |||
| コントローラ ※1 | デジタルコントローラ | |||
| 搭載質量(kg) | 1400 | 2000 | 3950 | |
| W×D | 除振ユニット外形寸法(mm) | 260×260 | 360×360 | 360×360 |
| A×B | 除振ユニット取付寸法(mm) | 215×215 | 320×320 | 320×320 |
| H | 着座時高さ(mm) | 259 | 257 | 327 |
| 作動時高さ(mm) | 261 | 260 | 330 | |
| T1 | 上部プレート厚さ(mm) | 30 | 15 | 40 |
| T2 | 下部プレート厚さ(mm) | 30 | 39 | 39 |
| 製品質量(kg) | 40 | 70 | 90 | |
※1：コントローラ、電源ユニットは別置きです。
※2：空気供給圧0.6MPaの場合の最大搭載質量。除振ユニット1基あたりです。
・半導体製造装置/検査装置
・FPD製造装置/検査装置
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