アクティブ除振ユニット
| 品 番 | EST-B14WLI | EST-B14W2LI | |
| アクチュエータ | 空気ばね | ||
| 制御方法 | FB・FF 6自由度制御 MFF（オプション） | ||
| レベリング方式 | 自動レベリング | ||
| コントローラ ※1 | デジタルコントローラ | ||
| 搭載質量(kg) | 3000 | 6000 | |
| W×D | 除振ユニット外形寸法(mm) | 430×600 | 630×730 |
| A×B | 除振ユニット取付寸法(mm) | 400×285 | 600×350 |
| H | 着座時高さ(mm) | 187 | 187 |
| 作動時高さ(mm) | 190 | 190 | |
| T1 | 上部プレート厚さ(mm) | 15 | 15 |
| T2 | 下部プレート厚さ(mm) | 15 | 15 |
| 製品質量(kg) | 90 | 155 | |
※1：コントローラ、電源ユニットは別置きです。
※2：空気供給圧0.6MPaの場合の最大搭載質量。除振ユニット1基あたりです。
・半導体製造装置/検査装置
・FPD製造装置/検査装置
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