除振ユニット アクティブ
・ドームジンバルピストンとコイルばねのハイブリッド構造。
・小フットプリントを実現。
・高重心装置に最適。
| EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| アクチュエータ | リニアモーター | |||||
| 制御方法 | FB・FF 6自由度制御 | |||||
| レベリング方式 | 自動レベリング | |||||
| コントローラ ※1 | デジタルコントローラ | |||||
| 搭載質量(kg) ※2 | 190～320 | 240～350 | 290～400 | 340～570 | 500～660 | 630～750 |
| アイソレータ外形寸法(mm) | 220×220 | 240×240 | ||||
| アイソレータ取付寸法(mm) | 200×200 | 220×220 | ||||
| 作動時高さ(mm) | 176 | 185 | ||||
| アイソレータ質量(kg) | 20 | 29 | ||||
※1：コントローラ、電源ユニットは別置きです。
※2：空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。アイソレータ1基あたりです。
・透過型電子顕微鏡
・走査型電子顕微鏡 など
お見積もり・お問い合わせはお気軽に
All rights reserved, © Copyright Kurashiki Kako Co., Ltd.
お見積もり・お問い合わせはお気軽に