アクティブ除振ユニット
| 品 番 | EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
| アクチュエータ | リニアモーター | ||||||
| 制御方法 | FB・FF 6自由度制御 | ||||||
| レベリング方式 | 自動レベリング | ||||||
| コントローラ ※1 | デジタルコントローラ | ||||||
| 搭載質量(kg) | 190～320 | 240～350 | 290～400 | 340～570 | 500～660 | 630～750 | |
| W×D | 除振ユニット外形寸法(mm) | 220×220 | 240×240 | ||||
| A×B | 除振ユニット取付寸法(mm) | 200×200 | 220×220 | ||||
| H | 着座時高さ(mm) | 173 | 182 | ||||
| 作動時高さ(mm) | 176 | 185 | |||||
| T1 | 上部プレート厚さ(mm) | 15 | 15 | ||||
| T2 | 下部プレート厚さ(mm) | 10 | 6 | ||||
| 製品質量(kg) | 20 | 29 | |||||
※1：コントローラ、電源ユニットは別置きです。
※2：空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。除振ユニット1基あたりです。
・透過型電子顕微鏡
・走査型電子顕微鏡 など
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