アクティブ除振ユニット【リニアモーター制御】LHKP type 制振リニアアクティブ除振台

除振ユニットアクティブ

半導体製造装置・検査装置の生産性向上をサポート: リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの2種類が普及しているアクティブ除振台。
制振リニアアクティブ除振台は、両方の長所を追求しました。

小型のコンプレッサーでも使用可能です。

除振性能に優れるLHタイプを制振用途にも使用可能に。

ステージ移動の情報を事前に入力することで、制振性能の向上を実現。

	EST-L6HKP-200L	EST-L6HKP-200M	EST-L6HKP-200H	EST-L8HKP-200
アクチュエータ	リニアモーター
制御方法	FB・FF 6自由度制御、MFF（モーションフィードフォワード）
レベリング方式	自動レベリング
コントローラ ※1	デジタルコントローラ
搭載質量 (kg) ※2	340 ～ 570	460 ～ 670	570 ～ 750	640 ～ 1250
アイソレータ外形寸法 (mm)	315 × 315			350 × 350
作動時高さ (mm)	220
アイソレータ質量 (kg)	70			90

※１：コントローラボックスは別置きです。
※２：空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。アイソレータ１基あたりです。

・半導体製造装置
・半導体検査装置

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