主动除振装置
| 商品编号 | EST-B14WLI | EST-B14W2LI | |
| 执行器 | 空气弹簧 | ||
| 控制方法 | FB·FF6自由度控制MFF (选配) | ||
| 校准系统 | 自动校平 | ||
| 控制器*1 | 数字控制器 | ||
| 装载质量 (kg) | 3000 | 6000 | |
| W×D | 除振单元外形尺寸 (mm) | 430×600 | 630×730 |
| A×B | 除振单元安装尺寸 (mm) | 400×285 | 600×350 |
| H | 坐高 (mm) | 187 | 187 |
| 工作高度 (毫米) | 190 | 190 | |
| T1 | 顶板厚度 (mm) | 15 | 15 |
| T2 | 底板厚度 (mm) | 15 | 15 |
| 产品质量 (kg) | 90 | 155 | |
※1:控制器和电源分开放置。
※2:供气压力0.6MPa时的最大装载质量。每个除振单元。
·半导体制造装置/检查装置
・FPD制造装置/检查装置
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