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제진 유닛

물리화학 반도체 FPD 정밀 가공기
광학 현미경 전자 현미경 프로브
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현미경
정밀 측정기 기타
물리 화학 장비
반도체
제조 검사
FPD 제조 검사 초정밀 가공기
LH 【리니어 모터 제어】 LH typeLH【리니어 모터 제어】LH type      
LHKP 【리니어 모터 제어】 제진 리니어 액티브 제진대 LHKP typeLHKP【리니어 모터 제어】제진 리니어 액티브 제진대 LHKP type            
【공압 제어】 A tyoe【공압 제어】A tyoe
B 【공압 제어】 B tyoeB【공압 제어】B tyoe            
BLI 【공압 제어】 BLI tyoeBLI【공압 제어】BLI tyoe            
물리화학 반도체 FPD 정밀 가공기
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PSB-D (댐퍼 내장)PSB-D(댐퍼 내장)            
PST-D (댐퍼 포함)PST-D (댐퍼 포함)
PST (댐퍼 없음)PST(댐퍼 없음)

탁상형 제진대

물리화학 반도체 FPD 정밀 가공기
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탁상형 액티브 제진대【MINI】탁상형 액티브 제진대【MINI】    
탁상형 액티브 제진대【MINI】전용 가대 (옵션)탁상형 액티브 제진대【MINI】전용 가대(옵션)    
방음 박스 (옵션)방음 상자(옵션)            
물리화학 반도체 FPD 정밀 가공기
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50 모델 범용 탁상형 제진대50 모델 범용 탁상형 제진대        
50C 모델 클린 룸용 탁상형 제진대50C 모델 클린 룸용 탁상형 제진대        
51 모델 에어 댐퍼 방진 고무식 탁상형 제진51 모델 에어 댐퍼 방진 고무식 탁상형 제진            
52S 모델 탁상형 광학 제진대52S 모델 탁상형 광학 제진대        
53 모델 천칭용 탁상형 제진대53 모델 천칭용 탁상형 제진대            

테이블형 제진대

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