| 물리화학 | 반도체 | FPD | 정밀 가공기 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 광학 현미경 | 전자 현미경 | 프로브 현미경 |
레이저 현미경 |
정밀 측정기 | 기타 물리 화학 장비 |
반도체 제조 검사 |
FPD 제조 검사 | 초정밀 가공기 | |
 LH【리니어 모터 제어】LH type |
〇 | ◎ | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||
 LHKP【리니어 모터 제어】제진 리니어 액티브 제진대 LHKP type |
◎ | ◎ | ◎ | ||||||
 【공압 제어】A tyoe |
〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ◎ | ◎ | ◎ |
 B【공압 제어】B tyoe |
〇 | ◎ | ◎ | ||||||
 BLI【공압 제어】BLI tyoe |
〇 | ◎ | ◎ | ||||||
| 물리화학 | 반도체 | FPD | 정밀 가공기 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 광학 현미경 | 전자 현미경 | 프로브 현미경 |
레이저 현미경 |
정밀 측정기 | 기타 물리 화학 장비 |
반도체 제조 검사 |
FPD 제조 검사 | 초정밀 가공기 | |
 PSB-D(댐퍼 내장) |
◎ | ◎ | ◎ | ||||||
 PST-D (댐퍼 포함) |
〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ◎ | 〇 | 〇 | ◎ | ◎ |
 PST(댐퍼 없음) |
〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ◎ | 〇 | 〇 | ◎ | ◎ |
| 물리화학 | 반도체 | FPD | 정밀 가공기 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 광학 현미경 | 전자 현미경 | 프로브 현미경 |
레이저 현미경 |
정밀 측정기 | 기타 물리 화학 장비 |
반도체 제조 검사 |
FPD 제조 검사 | 초정밀 가공기 | |
 탁상형 액티브 제진대【MINI】 |
〇 | 〇 | ◎ | ◎ | ◎ | 〇 | 〇 | ||
 탁상형 액티브 제진대【MINI】전용 가대(옵션) |
〇 | 〇 | ◎ | ◎ | ◎ | 〇 | 〇 | ||
 방음 상자(옵션) |
◎ | ◎ | ◎ | ||||||
| 물리화학 | 반도체 | FPD | 정밀 가공기 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 광학 현미경 | 전자 현미경 | 프로브 현미경 |
레이저 현미경 |
정밀 측정기 | 기타 물리 화학 장비 |
반도체 제조 검사 |
FPD 제조 검사 | 초정밀 가공기 | |
 TSP 모델 범용 탁상형 제진대 |
◎ | 〇 | ◎ | 〇 | ◎ | 〇 | 〇 | ||
 TCP 모델 클린 룸용 탁상형 제진대 |
◎ | 〇 | ◎ | 〇 | ◎ | 〇 | 〇 | ||
 51 모델 에어 댐퍼 방진 고무식 탁상형 제진 |
◎ | ◎ | 〇 | 〇 | |||||
 TSH 모델 탁상형 광학 제진대 |
◎ | 〇 | ◎ | 〇 | 〇 | 〇 | |||
 53 모델 천칭용 탁상형 제진대 |
◎ | ◎ | 〇 | 〇 | |||||
 TCH 모델 클린 룸용 탁상형 광학 제진대 |
◎ | 〇 | ◎ | 〇 | 〇 | 〇 | |||
| 물리화학 | 반도체 | FPD | 정밀 가공기 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 광학 현미경 | 전자 현미경 | 프로브 현미경 |
레이저 현미경 |
정밀 측정기 | 기타 물리 화학 장비 |
반도체 제조 검사 |
FPD 제조 검사 | 초정밀 가공기 | |
 71S 모델 테이블형 제진대 |
◎ | 〇 | ◎ | 〇 | ◎ | 〇 | ◎ | ||
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