물리화학 | 반도체 | FPD | 정밀 가공기 | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
광학 현미경 | 전자 현미경 | 프로브 현미경 |
레이저 현미경 |
정밀 측정기 | 기타 물리 화학 장비 |
반도체 제조 검사 |
FPD 제조 검사 | 초정밀 가공기 | |
LH【리니어 모터 제어】LH type | 〇 | ◎ | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||
LHKP【리니어 모터 제어】제진 리니어 액티브 제진대 LHKP type | ◎ | ◎ | ◎ | ||||||
【공압 제어】A tyoe | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ◎ | ◎ | ◎ |
B【공압 제어】B tyoe | 〇 | ◎ | ◎ | ||||||
BLI【공압 제어】BLI tyoe | 〇 | ◎ | ◎ |
물리화학 | 반도체 | FPD | 정밀 가공기 | ||||||
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광학 현미경 | 전자 현미경 | 프로브 현미경 |
레이저 현미경 |
정밀 측정기 | 기타 물리 화학 장비 |
반도체 제조 검사 |
FPD 제조 검사 | 초정밀 가공기 | |
PSB-D(댐퍼 내장) | ◎ | ◎ | ◎ | ||||||
PST-D (댐퍼 포함) | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ◎ | 〇 | 〇 | ◎ | ◎ |
PST(댐퍼 없음) | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ◎ | 〇 | 〇 | ◎ | ◎ |
물리화학 | 반도체 | FPD | 정밀 가공기 | ||||||
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광학 현미경 | 전자 현미경 | 프로브 현미경 |
레이저 현미경 |
정밀 측정기 | 기타 물리 화학 장비 |
반도체 제조 검사 |
FPD 제조 검사 | 초정밀 가공기 | |
탁상형 액티브 제진대【MINI】 | 〇 | 〇 | ◎ | ◎ | ◎ | 〇 | 〇 | ||
탁상형 액티브 제진대【MINI】전용 가대(옵션) | 〇 | 〇 | ◎ | ◎ | ◎ | 〇 | 〇 | ||
방음 상자(옵션) | ◎ | ◎ | ◎ |
물리화학 | 반도체 | FPD | 정밀 가공기 | ||||||
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광학 현미경 | 전자 현미경 | 프로브 현미경 |
레이저 현미경 |
정밀 측정기 | 기타 물리 화학 장비 |
반도체 제조 검사 |
FPD 제조 검사 | 초정밀 가공기 | |
50 모델 범용 탁상형 제진대 | ◎ | 〇 | ◎ | 〇 | ◎ | ||||
50C 모델 클린 룸용 탁상형 제진대 | ◎ | 〇 | ◎ | 〇 | ◎ | ||||
51 모델 에어 댐퍼 방진 고무식 탁상형 제진 | ◎ | ◎ | 〇 | ||||||
52S 모델 탁상형 광학 제진대 | ◎ | 〇 | ◎ | 〇 | 〇 | ||||
53 모델 천칭용 탁상형 제진대 | ◎ | ◎ | 〇 |
물리화학 | 반도체 | FPD | 정밀 가공기 | ||||||
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광학 현미경 | 전자 현미경 | 프로브 현미경 |
레이저 현미경 |
정밀 측정기 | 기타 물리 화학 장비 |
반도체 제조 검사 |
FPD 제조 검사 | 초정밀 가공기 | |
71S 모델 테이블형 제진대 | ◎ | 〇 | ◎ | 〇 | ◎ | 〇 | ◎ |
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