| 理化 | 半导体 | FPD | 精密加工机 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 光学显微镜 | 电子显微镜 | 探测 显微镜 |
激光 显微镜 |
精密测量仪 | 其他 理化设备 |
半导体 制造检验 |
FPD制造检查 | 超精密加工机 | |
 LH【直线电机控制】LH型 |
〇 | ◎ | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||
 LHKP【直线电机控制】直线主动抗振台LHKP型 |
◎ | ◎ | ◎ | ||||||
 [气动控制] A tyoe |
〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ◎ | ◎ | ◎ |
 B [气压控制] B tyoe |
〇 | ◎ | ◎ | ||||||
 BLI [气压控制] BLI tyoe |
〇 | ◎ | ◎ | ||||||
| 理化 | 半导体 | FPD | 精密加工机 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 光学显微镜 | 电子显微镜 | 探测 显微镜 |
激光 显微镜 |
精密测量仪 | 其他 理化设备 |
半导体 制造检验 |
FPD制造检查 | 超精密加工机 | |
 PSB-D (内置阻尼器) |
◎ | ◎ | ◎ | ||||||
 PST-D（带阻尼器） |
〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ◎ | 〇 | 〇 | ◎ | ◎ |
 PST（无阻尼器） |
〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ◎ | 〇 | 〇 | ◎ | ◎ |
| 理化 | 半导体 | FPD | 精密加工机 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 光学显微镜 | 电子显微镜 | 探测 显微镜 |
激光 显微镜 |
精密测量仪 | 其他 理化设备 |
半导体 制造检验 |
FPD制造检查 | 超精密加工机 | |
 桌面型主动隔振台【MINI】 |
〇 | 〇 | ◎ | ◎ | ◎ | 〇 | 〇 | ||
 桌面型主动隔振台【MINI】专用支架（选配） |
〇 | 〇 | ◎ | ◎ | ◎ | 〇 | 〇 | ||
 隔音箱（可选） |
◎ | ◎ | ◎ | ||||||
| 理化 | 半导体 | FPD | 精密加工机 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 光学显微镜 | 电子显微镜 | 探测 显微镜 |
激光 显微镜 |
精密测量仪 | 其他 理化设备 |
半导体 制造检验 |
FPD制造检查 | 超精密加工机 | |
 50型通用台式防震台 |
◎ | 〇 | ◎ | 〇 | ◎ | ||||
 50C型洁净室台式防震台 |
◎ | 〇 | ◎ | 〇 | ◎ | ||||
 51型空气阻尼器防震橡胶型桌面防震隔离 |
◎ | ◎ | 〇 | ||||||
 52S型台式光学防震台 |
◎ | 〇 | ◎ | 〇 | 〇 | ||||
 53 Model Tabletop 天平防振台 |
◎ | ◎ | 〇 | ||||||
| 理化 | 半导体 | FPD | 精密加工机 | ||||||
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| 光学显微镜 | 电子显微镜 | 探测 显微镜 |
激光 显微镜 |
精密测量仪 | 其他 理化设备 |
半导体 制造检验 |
FPD制造检查 | 超精密加工机 | |
 71S型台面型抗振台 |
◎ | 〇 | ◎ | 〇 | ◎ | 〇 | ◎ | ||
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