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减振装置

理化 半导体 FPD 精密加工机
光学显微镜 电子显微镜 探测
显微镜		 激光
显微镜		 精密测量仪 其他
理化设备		 半导体
制造检验		 FPD制造检查 超精密加工机
LH 【リニアモーター制御】 LH typeLH【直线电机控制】LH型 〇 ◎ 〇 〇 〇 〇 　 　 　
LHKP 【リニアモーター制御】 制振リニアアクティブ除振台 LHKP typeLHKP【直线电机控制】直线主动抗振台LHKP型 　 ◎ 　 　 　 　 ◎ 　 ◎
【空圧制御】 A tyoe[气动控制] A tyoe 〇 〇 〇 〇 〇 〇 ◎ ◎ ◎
B 【空圧制御】 B tyoeB [气压控制] B tyoe 　 　 　 　 〇 　 　 ◎ ◎
BLI 【空圧制御】 BLI tyoeBLI [气压控制] BLI tyoe 　 　 　 　 〇 　 　 ◎ ◎
理化 半导体 FPD 精密加工机
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理化设备		 半导体
制造检验		 FPD制造检查 超精密加工机
PSB-D (ダンパー内蔵)PSB-D (内置阻尼器) 　 　 　 　 ◎ 　 　 ◎ ◎
PST-D (ダンパー付き)PST-D（带阻尼器） 〇 〇 〇 〇 ◎ 〇 〇 ◎ ◎
PST (ダンパーなし)PST（无阻尼器） 〇 〇 〇 〇 ◎ 〇 〇 ◎ ◎

台式减振器

理化 半导体 FPD 精密加工机
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显微镜		 激光
显微镜		 精密测量仪 其他
理化设备		 半导体
制造检验		 FPD制造检查 超精密加工机
卓上形アクティブ除振台 mini桌面型主动隔振台【MINI】 〇 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 〇 　 　
卓上形アクティブ除振台 mini 専用架台 （オプション）桌面型主动隔振台【MINI】专用支架（选配） 〇 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 〇 　 　
防音ボックス （オプション）隔音箱（可选） 　 　 ◎ ◎ ◎ 　 　 　 　
理化 半导体 FPD 精密加工机
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理化设备		 半导体
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TSPモデル 汎用卓上形除振台TSP模型通用台式除振台 ◎ 〇 ◎ 〇 ◎ 〇 〇 　 　
TCPモデル クリーンルーム用卓上形除振台TCP模型洁净室用台式除振台 ◎ 〇 ◎ 〇 ◎ 〇 〇 　 　
51モデル エアーダンパー防振ゴム式 卓上形除振51型空气阻尼器防震橡胶型桌面防震隔离 ◎ 　 ◎ 　 〇 〇 　 　 　
TSHモデル 卓上形光学除振台TSH模型台式光学除震台 ◎ 〇 ◎ 〇 〇 〇 　 　 　
53モデル 天秤用卓上形除振台53 Model Tabletop 天平防振台 ◎ 　 ◎ 　 〇 〇 　 　 　
TCHモデル クリーンルーム用 卓上形光学除振台TCH模型洁净室用台式光学除振台 ◎ 〇 ◎ 〇 〇 〇      

台式减振台

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71Sモデル テーブル形除振台71S型台面型抗振台 ◎ 〇 ◎ 〇 ◎ 〇   ◎

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