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除振ユニット

理化学 半導体 FPD 精密加工機
光学顕微鏡 電子顕微鏡 プローブ
顕微鏡		 レーザー
顕微鏡		 精密測定機 その他
理化学機器		 半導体
製造検査		 FPD製造検査 超精密加工機
LH 【リニアモーター制御】 LH typeLH【リニアモーター制御】LH type 〇 ◎ 〇 〇 〇 〇 　 　 　
LHKP 【リニアモーター制御】 制振リニアアクティブ除振台 LHKP typeLHKP【リニアモーター制御】制振リニアアクティブ除振台LHKP type 　 ◎ 　 　 　 　 ◎ 　 ◎
【空圧制御】 A tyoe【空圧制御】A tyoe 〇 〇 〇 〇 〇 〇 ◎ ◎ ◎
B 【空圧制御】 B tyoeB【空圧制御】B tyoe 　 　 　 　 〇 　 　 ◎ ◎
BLI 【空圧制御】 BLI tyoeBLI【空圧制御】BLI tyoe 　 　 　 　 〇 　 　 ◎ ◎
理化学 半導体 FPD 精密加工機
光学顕微鏡 電子顕微鏡 プローブ
顕微鏡		 レーザー
顕微鏡		 精密測定機 その他
理化学機器		 半導体
製造検査		 FPD製造検査 超精密加工機
PSB-D (ダンパー内蔵)PSB-D(ダンパー内蔵) 　 　 　 　 ◎ 　 　 ◎ ◎
PST-D (ダンパー付き)PST-D(ダンパー付き) 〇 〇 〇 〇 ◎ 〇 〇 ◎ ◎
PST (ダンパーなし)PST(ダンパーなし) 〇 〇 〇 〇 ◎ 〇 〇 ◎ ◎

卓上形除振台

理化学 半導体 FPD 精密加工機
光学顕微鏡 電子顕微鏡 プローブ
顕微鏡		 レーザー
顕微鏡		 精密測定機 その他
理化学機器		 半導体
製造検査		 FPD製造検査 超精密加工機
卓上形アクティブ除振台 mini卓上形アクティブ除振台mini 〇 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 〇 　 　
卓上形アクティブ除振台 mini 専用架台 （オプション）卓上形アクティブ除振台 mini 専用架台（オプション） 〇 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 〇 　 　
防音ボックス （オプション）防音ボックス（オプション） 　 　 ◎ ◎ ◎ 　 　 　 　
理化学 半導体 FPD 精密加工機
光学顕微鏡 電子顕微鏡 プローブ
顕微鏡		 レーザー
顕微鏡		 精密測定機 その他
理化学機器		 半導体
製造検査		 FPD製造検査 超精密加工機
TSPモデル 汎用卓上形除振台TSPモデル 汎用卓上形除振台 ◎ 〇 ◎ 〇 ◎ 〇 〇 　 　
TCPモデル クリーンルーム用卓上形除振台TCPモデル クリーンルーム用卓上形除振台 ◎ 〇 ◎ 〇 ◎ 〇 〇 　 　
51モデル エアーダンパー防振ゴム式 卓上形除振51モデル エアーダンパー防振ゴム式 卓上形除振 ◎ 　 ◎ 　 〇 〇 　 　 　
TSHモデル 卓上形光学除振台TSHモデル 卓上形光学除振台 ◎ 〇 ◎ 〇 〇 〇 　 　 　
53モデル 天秤用卓上形除振台53モデル 天秤用卓上形除振台 ◎ 　 ◎ 　 〇 〇 　 　 　
TCHモデル クリーンルーム用 卓上形光学除振台TCHモデル クリーンルーム用 卓上形光学除振台 ◎ 〇 ◎ 〇 〇 〇      

テーブル形除振台

理化学 半導体 FPD 精密加工機
光学顕微鏡 電子顕微鏡 プローブ
顕微鏡		 レーザー
顕微鏡		 精密測定機 その他
理化学機器		 半導体
製造検査		 FPD製造検査 超精密加工機
71Sモデル テーブル形除振台71Sモデル テーブル形除振台 ◎ 〇 ◎ 〇 ◎ 〇   ◎

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